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TOYO納米產(chǎn)品介紹

一、TOYO空氣軸承XYZθ平臺

TOYO空氣軸承XYZθ平臺適用于半導(dǎo)體和光罩檢查機(jī)

有效行程可達(dá)500x500mm

平面度<5μm

重復(fù)精度<1μm

VC-C抑震等級

二、TOYO共面式空氣軸承平臺

TOYO共面式空氣軸承平臺適用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)和PCB印刷電路板，內(nèi)含空氣軸承平面，空氣軸承與接觸式的滾動軸承不同于運(yùn)用一層壓縮的空氣薄膜，提供了一個無摩擦可承受負(fù)載的軸承接口

三、TOYO共面式空氣軸承

TOYO共面式空氣軸承適用于半導(dǎo)體、光罩檢查機(jī)等設(shè)備，內(nèi)嵌式空氣軸承在高速度、高加速度運(yùn)動的情況下，達(dá)到了運(yùn)動零噪音，且無磨擦、零磨耗，擁有優(yōu)良的運(yùn)動精度(六個自由度)，同時較高的阻尼，有利于運(yùn)動的穩(wěn)定性，符合節(jié)能趨勢，耗氣量<20L/min

四、TOYO龍門XYZ線馬平臺

TOYO龍門XYZ線馬平臺適用于3C產(chǎn)業(yè)貼合設(shè)備

有效行程可達(dá)1000×700×40mm

XY最大速度1m/sec

Z最大速度0.2m/sec

重復(fù)精度± 2 μm

五、TOYO空氣軸承龍門平臺

TOYO空氣軸承龍門平臺適用于半導(dǎo)體和Micro LED AOI檢查設(shè)備

XYZ行程400×400×50mm

重復(fù)精度<0.5μm

平面直線度<2μm

速度瀲波100mm/sec<0.1%

龍門軸Yaw補(bǔ)償結(jié)構(gòu)

關(guān)于東佑達(dá)

       東佑達(dá)集團(tuán)成立于2000年，我們憑借著“超越客戶需求”的理念，用心投入自動化機(jī)器人相關(guān)領(lǐng)域的研發(fā)與創(chuàng)新，并快速獲得廣大客戶的認(rèn)同與采用。TOYO東佑達(dá)直線傳動主要包括六大產(chǎn)品：滑臺模組、電動缸、線性馬達(dá)機(jī)械手、電動夾爪、桌上型機(jī)械手、無人搬運(yùn)車。在與人們生活息息相關(guān)的各種制造里，都可以看到TOYO東佑達(dá)機(jī)械手技術(shù)活用的應(yīng)用范例。包括IT產(chǎn)業(yè)、半導(dǎo)體、醫(yī)藥、食品、手機(jī)、汽車、航天等產(chǎn)業(yè)。因應(yīng)您的需求,提供最適合的產(chǎn)品,更貼近您的生活。